Optical CD metrology
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延伸文章資訊
- 1KLA-Tencor 推出5D 圖案成型控制解決方案的關鍵系統 - 科技新報
KLA-Tencor 公司今天宣佈,推出WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測量系統、LMS IPRO6 光罩圖案位置測量系統和K-T Analyzer 9.0 先進數據分析系統。
- 2KLA-Tencor 推出5D ™ 圖案成型控制解決方案的關鍵系統
我們的新型WaferSight PWG 和. LMS IPRO6 提供了光刻模組以外的製程資料或光罩圖案位置誤差,對圖案成型偵錯提供了額. 外的資訊。在K-T Analyzer 9.0 靈活 ...
- 3PWG5™ - KLA
As the latest-generation PWG system, the PWG5 enables wafer geometry control for both patterned a...
- 4用於半導體製程控制之圖案化晶圓幾何量測之方法及系統
參考圖1,展示在一圖案化晶圓幾何(PWG)量測工具上量測之一晶圓平坦度。 ... US20060234139A1 * 2005-04-13 2006-10-19 Kla-Tencor Techn...
- 5KLA:如何成為晶片製造過程中的橋樑? - 壹讀
KLA是一家專門從事檢測和量測的設備公司,而在半導體晶片製造的過程中,幾乎每一片晶圓 ... KLA的PWG產品系列針對的就是晶圓幾何與納米形貌量測系統。